Seto 1.67 lente fotocrômica shmc

1) O que é o revestimento de rotação?

O revestimento de rotação é um procedimento usado para depositar filmes finos uniformes em substratos planos. Geralmente, uma pequena quantidade de material de revestimento é aplicada no centro do substrato, que está girando em baixa velocidade ou não está girando. O substrato é então girado em velocidade até 10.000 rpm para espalhar o material de revestimento por força centrífuga. Uma máquina usada para o revestimento de rotação é chamada de spin cater, ou simplesmente spinner.
A rotação é continuada enquanto o fluido gira nas bordas do substrato, até que a espessura desejada do filme seja alcançada. O solvente aplicado é geralmente volátil e simultaneamente evapora. Quanto maior a velocidade angular de girar, quanto mais fino o filme. A espessura do filme também depende da viscosidade e concentração da solução e do solvente. A análise teórica pioneira do revestimento de spin foi realizada por Emslie et al., E foi estendida por muitos autores subsequentes (incluindo Wilson et al., Que estudaram a taxa de espalhamento no revestimento de rotação; e Danglad-Flores et al., Que encontraram um Descrição universal para prever a espessura do filme depositada).
O revestimento de rotação é amplamente utilizado na microfabricação de camadas de óxido funcional em vidro ou substratos de cristal único usando precursores sol-gel, onde pode ser usado para criar filmes finos uniformes com espessuras em nanoescala. [6] É usado intensamente na fotolitografia, para depositar camadas de fotorresistentes com cerca de 1 micrômetros de espessura. O fotorresistente é tipicamente girado de 20 a 80 revoluções por segundo por 30 a 60 segundos. Também é amplamente utilizado para a fabricação de estruturas fotônicas planas feitas de polímeros.
Uma vantagem de girar filmes finos de revestimento é a uniformidade da espessura do filme. Devido ao autonivelamento, as espessuras não variam mais de 1%. No entanto, filmes mais espessos de polímeros e fotorresistes de revestimento de rotação podem resultar em contas de borda relativamente grandes cuja planarização tem limites físicos.